定価表

装置名

標準スペック価格

(単位:千円)

オプション

 コーター装置

mini-lab spin-150

900

・小型スピンチャック

・センタリング冶具

コーター装置

mini-lab spin-100

700

・小型スピンチャック

・センタリング冶具

ベーク装置

mini-lab bake-150

2,000~3,000

・MAX400℃タイプ

クーリング装置

mini-lab cool-150

700

・チラーユニット

膜厚測定装置

アバンティス

2,500

・透過率測定ユニット

・測定ステージ

露光装置

開発中

未定  

現像装置

mini-lab dev-200

2,700

・小型スピンチャック

・センタリング冶具

エッチング装置

mini-lab etcher

5,000~10,000  

CMP装置

MAT BC-15C

6,500~  

スパッタ装置

SC-701HMCII

2,300〜

・オイルミストトラップ

      OMT-100A

CMP装置

MAT ZAB-8S1MS

12,000  

基板洗浄装置

Min-Excimer SUS713

お問い合わせください  

インプリント装置

mini-lab immprinter-150

3,000

・石英モールド

・Niモールド

リンク

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リソテックジャパン株式会社
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