小型インプリント装置

<<卓上光ナノインプリント装置>>

実験用の卓上光インプリント専用装置

小型ステッピングモータ駆動で精密な加圧制御が可能（100～350N）

・露光機能：LED　UVランプ（標準1.6mW/cm2/)

・適応基板サイズ：最大6インチΦ

・適応モールドサイズ：標準25mm角

※オプションステッピングモータで100～800N可能

※オプションベークプレートで（MAX120℃）搭載可能

※オプション露光機能で5mW/cm2 @365nm可能