<<卓上光ナノインプリント装置>>
実験用の卓上光インプリント専用装置
小型ステッピングモータ駆動で精密な加圧制御が可能(100~350N)
・露光機能:LED UVランプ(標準1.6mW/cm2/)
・適応基板サイズ:最大6インチΦ
・適応モールドサイズ:標準25mm角
※オプションステッピングモータで100~800N可能
※オプションベークプレートで(MAX120℃)搭載可能
※オプション露光機能で5mW/cm2 @365nm可能
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