<<卓上マニュアルクーリング>>
実験用の卓上マニュアルクーリング装置。ベーク後のウェハのクーリングに最適です。
・クーリング・プレートのサイズは200mm角
・最大6インチSi基板までのクーリングが可能
※オプション:専用の温調装置をつなげて10℃~40℃に設定可能
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