小型クーリング装置

mini-lab cool-150

<<卓上マニュアルクーリング>>

実験用の卓上マニュアルクーリング装置。ベーク後のウェハのクーリングに最適です。

 

・クーリング・プレートのサイズは200mm角

・最大6インチSi基板までのクーリングが可能

 

※オプション:専用の温調装置をつなげて10℃~40℃に設定可能

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株式会社アシストナビ
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リソテックジャパン株式会社
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