小型クーリング装置

<<卓上マニュアルクーリング>>

実験用の卓上マニュアルクーリング装置。ベーク後のウェハのクーリングに最適です。

・クーリング・プレートのサイズは200mm角

・最大6インチSi基板までのクーリングが可能

※オプション：専用の温調装置をつなげて10℃～40℃に設定可能