小型コーター装置

mini-lab spin-150

<<低価格・高精度実験用ミニコーター>>

 

場所を取らない実験用ミニコーターです。

・1インチ~6インチまで塗布可能

・PC制御により高精度スピンが可能

・膜厚算出ソフト SpinCalculatorを付属

 

※仕様詳細はご相談ください。

※PCはお客様にてご準備ください。

※オプションで位置合わせジグ、小基板スピンチャック有り。

mini-lab spin-100

<<低価格・高精度実験用ミニコーター>>

 

場所を取らない実験用ミニコーターです。

・1インチ~4インチまで塗布可能

・デジタル制御により高精度スピンが可能

 

※仕様詳細はご相談ください。

※1cm四角基板等、小基板用スピンチャック有り。

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株式会社アシストナビ
株式会社アシストナビ
リソテックジャパン株式会社
リソテックジャパン株式会社