小型コーター装置
mini-lab spin-150
<<低価格・高精度実験用ミニコーター>>
場所を取らない実験用ミニコーターです。
・1インチ～6インチまで塗布可能
・PC制御により高精度スピンが可能
・膜厚算出ソフト SpinCalculatorを付属
※仕様詳細はご相談ください。
※PCはお客様にてご準備ください。
※オプションで位置合わせジグ、小基板スピンチャック有り。
mini-lab spin-100
<<低価格・高精度実験用ミニコーター>>
場所を取らない実験用ミニコーターです。
・1インチ～4インチまで塗布可能
・デジタル制御により高精度スピンが可能
※仕様詳細はご相談ください。
※1cm四角基板等、小基板用スピンチャック有り。
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