小型ベーク装置

mini-lab bake-150

<<実験用卓上マニュアルベーク>>

 

・ベークサイズは170mmΦ

・最大6インチSi基板までのベークが可能

・温度は最高100℃、面内均一性はレンジで0.5℃を確保

 (設定100℃の時)

 

※設定時間になるとピンアップして基板を浮かせ、アラームで終了を知らせます。

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