<<実験用卓上マニュアルベーク>>
・ベークサイズは170mmΦ
・最大6インチSi基板までのベークが可能
・温度は最高100℃、面内均一性はレンジで0.5℃を確保
(設定100℃の時)
※設定時間になるとピンアップして基板を浮かせ、アラームで終了を知らせます。
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