小型ベーク装置

<<実験用卓上マニュアルベーク>>

・ベークサイズは170mmΦ

・最大6インチSi基板までのベークが可能

・温度は最高100℃、面内均一性はレンジで0.5℃を確保

　（設定100℃の時）

※設定時間になるとピンアップして基板を浮かせ、アラームで終了を知らせます。