小型基板洗浄装置

Min-EXcimer SUS713(ドライ洗浄装置)>>

<<172nm簡易照射器(ドライ洗浄装置)>>

 

ワークのドライ洗浄や、DUV露光実験に気軽にお使い頂けます。

 

【仕様】

・波長:172nm(半値幅14nm)

・照度:10mW/cm2以上

・照射エリア:80×50mm

 

※仕様詳細はご相談ください。


SSP17-110

<<卓上型UV/Ozone表面処理装置(Model:SSP17-110)>>

 

<<仕様一覧>>

【光源】

・型式:PL17-110

・寸法:300×290×310Hmm

・重量:13.4kg

・UV照度(mW/cm2)at 30nm:15(254nm)

・光源面寸法:160mm×160mm

・試料台:引出式ラボジャッキ

・照射距離:20-80mm

・ブロア型式:SB-201-M3A3

・送風量(m3/min:2(Max)

・ダクトホース:Φ75mm、50mm×各2.5m

・風量調整ダンパー

 

【電源】

・型名:UE1101N-19

・入力電源(V,Hz):AC100,50/60共通

・消費電力:250W

 

注:UV照度は照度計25・36-3にて測定

注:消費電力はブロアを含む

 

※仕様詳細はご相談ください。

 


SSP16-110

<<卓上型UV/Ozone表面処理装置(Model:SSP16-110)>>

 

<<仕様一覧>>

【光源】

・型式:PL16-110

・寸法:300×250×300Hmm

・重量:10.0kg

・UV照度(mW/cm2)at 30nm:15(254nm)

・光源面寸法:160mm×160mm

・試料台:引出式ラボジャッキ

・照射距離:0-80mm

・ブロア型式:SB-201-M3A3

・送風量(m3/min:2(Max)

・ダクトホース:Φ75mm、50mm×各2.5m

・風量調整ダンパー

 

【電源】

・型名:UE1101N-19

・入力電源(V,Hz):AC100,50/60共通

・消費電力:250W

 

注:UV照度は照度計25・36-3にて測定

注:消費電力はブロアを含む

 

※仕様詳細はご相談ください。


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