小型膜厚測定装置

<<様々な光学方式に卓上膜厚計>>

様々な薄膜の厚みを非接触で、リアルタイムに測定します。

1nmの分解能で10nm～50μmまで測定出来ます。

【スペック】

・測定膜厚：10nm～50μm(分解能1nm)

　Spectrometer Ava Spec-2048

　（グレーティング範囲200-1100nm）

・ソフトウェア：Ava Soft-Thinfilm

・測定スポット：1㎜Φ

・光源：AvaLight-DHc(重水素-ハロゲンランプ）

※仕様詳細はご相談下さい。