<<卓上型CMP装置 MAT BC-15CN>>
【装置寸法】
・クローズ時:W850×D600×H800mm
【重量】
・約135kg
【回転数】
・プラテン回転数 10~100rpm
・ヘッドプレート回転数 5~95rpm
【対応サイズ】
・チップサイズ~Φ6インチ
【仕様】
・加圧機構付
・インターロック付き安全カバー設置
卓上装置としてCMP加工に必要な器具がコンパクトにまとまっています。
主な操作はタッチパネルで行う為、簡易操作が可能です。
※仕様詳細はご相談ください。
<<スクラバー洗浄機 MAT ZAB-8S1MS>>
【装置寸法】
W1000×D700×H1300mm
【重量】
・約150kg(アジャスター、キャスター付き)
【対応サイズ】
・チップサイズ~Φ8インチ
【仕様】
・薬液キャビネットなし
・純水仕様
・メガソニック、2流体洗浄はオプションで取付可能
※仕様詳細はご相談ください。