<<卓上型CMP装置 MAT BC-15CN>>

【装置寸法】

・クローズ時：W850×D600×H800mm

【重量】

・約135kg

【回転数】

・プラテン回転数　10～100rpm

・ヘッドプレート回転数　5～95rpm

【対応サイズ】

・チップサイズ～Φ6インチ

【仕様】

・加圧機構付

・インターロック付き安全カバー設置

卓上装置としてCMP加工に必要な器具がコンパクトにまとまっています。

主な操作はタッチパネルで行う為、簡易操作が可能です。

※仕様詳細はご相談ください。

<<スクラバー洗浄機 MAT ZAB-8S1MS>>

【装置寸法】

W1000×D700×H1300mm

【重量】

・約150kg（アジャスター、キャスター付き）

【対応サイズ】

・チップサイズ～Φ8インチ

【仕様】

・薬液キャビネットなし

・純水仕様

・メガソニック、2流体洗浄はオプションで取付可能

※仕様詳細はご相談ください。