小型CMP装置

MAT BC-15CN

<<卓上型CMP装置 MAT BC-15CN>>

 

【装置寸法】

・クローズ時:W850×D600×H800mm

【重量】

・約135kg

【回転数】

・プラテン回転数 10~100rpm

・ヘッドプレート回転数 5~95rpm

【対応サイズ】

・チップサイズ~Φ6インチ

【仕様】

・加圧機構付

・インターロック付き安全カバー設置

卓上装置としてCMP加工に必要な器具がコンパクトにまとまっています。

主な操作はタッチパネルで行う為、簡易操作が可能です。

 

※仕様詳細はご相談ください。

スクラバー洗浄機

MAT ZAB-8S1MS

<<スクラバー洗浄機 MAT ZAB-8S1MS>>

 

【装置寸法】

W1000×D700×H1300mm

【重量】

・約150kg(アジャスター、キャスター付き)

【対応サイズ】

・チップサイズ~Φ8インチ

【仕様】

・薬液キャビネットなし

・純水仕様

・メガソニック、2流体洗浄はオプションで取付可能

 

※仕様詳細はご相談ください。

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株式会社アシストナビ
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リソテックジャパン株式会社
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