静電チャックウェハーサポーター

 静電チャックとは、電圧を印加し電極と対象物間に発生したクーロン力によって、吸着するツールです。

吸着方式の違いによって、誘電体として絶縁材料を使用するクーロ

ン力型と、対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型があります。

 

<メリット>

対象物全面に対して均一な作用力により薄物の吸着や搬送に最適。

半導体ウエハー、PV/LCD/OLED向けガラス基板、導体、半導体、絶縁体

(素ガラス基板吸着可能)と広範囲な対応が可能。

対象物裏面には電界は到達しない為、TFT回路等に対する影響が

ありません。

バキュームでは吸着が難しい多孔質材(紙、リードフレーム、セラ

 ミック、シート、布等)など孔の開いたワーク吸着が可能。

対象物へ圧痕や傷、孔の転写などが発生しません。

積層対象物から最上層の一枚のみを吸着 複数枚同時吸取防止

バキュームでは吸着が難しい真空環境下でも安定した吸着力。

これまでの静電チャックに比べ、低電圧で強い吸着力を発揮します。

 

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株式会社アシストナビ
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リソテックジャパン株式会社
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